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半導(dǎo)體特氣檢漏儀

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半導(dǎo)體特氣檢漏儀特點：
¬   于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
¬   采用聲光報警。
 
半導(dǎo)體特氣檢漏儀規(guī) 格
型       號
XP-703D
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）
砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣
AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)
 
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